手动***机-和川机械设备公司-手动***机厂家

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LED***机性能指标:

光刻机的主要性能指标有:支持基片的尺寸范围，分辨率，对准精度，***方式，光源波长，光强均匀性，生产效率等.

分辨率是对***工艺加工可以达到的***细线条精度的一种描述方式.***的分辨率受受光源衍射的限制，所以与光源，手动***机，光刻系统，光刻胶和工艺等各方面的限制.

对准精度是在多层***时层间图案的***精度.***方式分为接触接近式，投影式和直写式.

***光源波长分为紫外，手动***机供应商，深紫外和极紫外区域，光源有gong灯，准分子激光器等.

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